Estufas de secado de alto vacío
Estufas de secado al vacío para semiconductores y electrónica
Descripción de uso
Las cámaras de secado al vacío HMDS se utilizan para secar obleas semiconductoras durante el pretratamiento HMDS. Mediante programación, controlan automáticamente la secuencia de evacuación, entrada de nitrógeno, evacuación y otras etapas, realizando automáticamente el proceso de pretratamiento HMDS para la aplicación de resina fotosensible en fotolitografía. Las estufas de secado de alto vacío pueden utilizarse en entornos limpios y satisfacen los requisitos de alto vacío y producción sin polvo de los talleres de fabricación de obleas semiconductoras. Se utilizan en procesos de secado sin oxidación en semiconductores, electrónica, atención sanitaria, instrumentación y otros campos;
Características del producto
- Control inteligente mediante pantalla táctil para ajustar directamente temperatura, grado de vacío y tiempo; manejo mediante menús para facilitar el uso y el mantenimiento;
- Cámara de acero inoxidable 316 con mayor resistencia a la corrosión por ácidos y álcalis, para garantizar la durabilidad y facilitar la limpieza;
- Cámara de vacío rectangular con gran volumen útil para aprovechar plenamente el espacio;
- Puerta elástica de doble vidrio templado para observar claramente los objetos de la cámara;
- Cierre de puerta con presión ajustable y junta integral de caucho de silicona sintética para mantener un alto grado de vacío en la cámara;
- Puerto adicional de control de temperatura para protección contra sobretemperatura, que evita eficazmente problemas de seguridad como la pérdida de control de temperatura; (opcional)
- Bomba de vacío profesional de bajo ruido para un control de vacío estable y fiable; (cámara de secado al vacío HMDS)
- Calentamiento de la cámara, sin componentes electrónicos en su interior, sin contaminación y con menor susceptibilidad a la corrosión, para un uso más seguro;
- Bomba de ultravacío que garantiza un grado de vacío de 1.0×10-4Pa en la cámara; (estufa de secado de alto vacío)
Control programable
- Funcionamiento programable: permite ajustar el calentamiento, el grado de vacío, la entrada de nitrógeno, el tiempo y otros parámetros según el proceso para un control automático, garantizando la uniformidad del horneado entre lotes y reduciendo las diferencias entre productos;
- Interfaz de comunicación 485 para consultar el estado del equipo y del programa mediante software externo y mantener el funcionamiento bajo supervisión;
Parámetros técnicos
| Especificaciones técnicas / Modelo | Cámara de secado al vacío HMDS | Estufas de secado de alto vacío | ||
|---|---|---|---|---|
| BPZ-6060MS | BPZ-6090MS | BPZ-6060HV | BPZ-6090HV | |
| Tensión de alimentación | AC220V 50HZ | AC220V 50HZ | ||
| Potencia de entrada | 3000W | 3500W | 3000W | 3500W |
| Rango de control de temperatura | RT+10~250°C | RT+10~200°C | ||
| Resolución de temperatura / fluctuación de temperatura | 0.1°C /±1°C | 0.1°C /±1°C | ||
| Vacío alcanzable | 100Pa | Vacío límite de 1.0×10-4Pa | ||
| Indicación del grado de vacío | Indicación electrónica del grado de vacío | Indicación electrónica del grado de vacío | ||
| Temperatura ambiente de funcionamiento | +5~40°C | +5~40°C | ||
| Dimensiones interiores (mm) W×D×H | 400×400×400 | 450×450×450 | 400×400×400 | 450×450×450 |
| Dimensiones exteriores (mm) W×D×H | 600×570×1390 | 610×590×1350 | 600×570×1390 | 610×590×1350 |
| Estantes | 2 unidades | 2 unidades | ||
| Método de calentamiento | Calentamiento de la cámara | Calentamiento de la cámara | ||
| Material de la cámara | Acero inoxidable 316 | Acero inoxidable 316 | ||
※Los parámetros de rendimiento se ensayan sin carga, con una temperatura ambiente de 20°C y una humedad ambiente de 50%RH.
Nota: La carcasa puede fabricarse en acero inoxidable 304 bajo pedido.
